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主要用于硅、碳化硅、藍寶石、玻璃等大直徑晶圓V型槽的倒角粗精加工。
粒度(800#~4000#),槽型(R型、RT型等)等可定制,具有較好的跳動及加工質量,可實現微米級加工精度,晶圓加工質量達到國內領先水平。