主要用于大尺寸、高品質單晶/多晶金剛石的生產制造。該產品采用全新一代碟形腔設計，是目前國內唯一大規模應用的碟形腔式方案。
實現了2450MHZ和915MHZ兩大系列全覆蓋，系列產品包括DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。 具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔體易潔操作、可避免石英刻蝕污染、等離子體覆蓋面積大的突出特點。
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